真空腔體的主流材料主要分為鋁合金、不鏽鋼（304/316L）、鈦合金三大類，不同材料的性能差異顯著，適用場景也截然不同。
優點：密度僅為不鏽鋼的 1/3，可大幅降低設備負載；導熱係數高，散熱快，保障工藝過程中溫度的均勻性；易切削、易成型，加工周期短、成本適中；陽極氧化後表麵結構致密，可有效提升耐蝕性與耐磨性。局限：無法承受超高真空工藝所需的高溫烘烤；不適用於酸堿腐蝕、等離子體刻蝕等腐蝕環境；放氣率遠高於不鏽鋼，無法滿足 10⁻⁹Pa 及以上超高真空的工藝要求，因此該場景下應用受限。
常規高真空設備、科研實驗腔體、光學鍍膜設備、半導體傳輸腔體（無腐蝕工藝）、對重量敏感的航空航天及車載真空設備。
優點：氣密性極佳，氣體滲透速率極低，漏率可控；放氣率低，經電解拋光和高溫烘烤後，可輕鬆實現超高真空；耐腐蝕性優異，316L 因含 Mo 元素，可有效抗 HF、HCl、Cl₂等強腐蝕介質；可高溫烘烤、耐高低溫循環衝擊，尺寸穩定性優異；焊接性好，適配精密真空焊接工藝，焊縫強度高、無泄漏；奧氏體態下基本無磁性，適配半導體光刻、離子注入等對磁場敏感的工藝。局限：密度大、設備整體重量偏高；加工成本高於鋁合金；導熱性一般，應用時需配套專用溫控係統。
超高真空設備、半導體核心工藝腔體、激光科研裝置、工業鍍膜設備、粒子加速器、高端分析儀器。
優點：機械強度遠超不鏽鋼與鋁合金，可兼顧設備輕量化與結構強度；耐腐蝕性極強，優於 316L 不鏽鋼，可抵抗強腐蝕、高氧化的極端環境；無磁特性優異，適配對磁場敏感的超高精密工藝；耐高溫性好，可承受更高溫度的烘烤工藝。局限：原材料成本約為不鏽鋼的 3 至 5 倍；加工難度大，焊接、切削、拋光均需專用工藝與設備，加工成本高，加工及交貨周期長。
特殊極端工作環境：強腐蝕工藝腔體、航空航天真空設備、醫療核磁兼容腔體、對磁場、重量、耐蝕性有極致要求的高端科研裝置。
· 鋁合金：輕量化、導熱性好、易加工、成本較低；但耐溫性、耐腐蝕性一般，放氣率較高
· 不鏽鋼：低放氣、高氣密、耐蝕性優異、可高溫烘烤；但重量大，加工成本中等
· 鈦合金：高強度、強耐蝕、無磁、耐高溫性好；但原材料及加工成本高，加工難度大
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