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渦輪分子泵

渦輪分子泵

渦輪分子泵是利用高速旋轉的動葉輪將動量傳給氣體分子使氣體產生定向流動而抽氣的真空泵。渦輪分子泵啟動快能抗各種射線的照射無氣體存儲和解吸效應無油蒸氣汙染或汙染很少能獲得清潔的超高真空其結構複雜、對軸承耐磨程度要求高、製造成本高。該泵的工作壓力範圍為1~10-8Pa抽氣速率般在5000L/s以下泵的轉速為10000~50000r/min。該泵主要用作高真空泵和超高真空泵但不能直接對大氣排氣需要配置前級泵。泵的主要性能如極限壓力和抽速與配置的前級泵的容量、泵的轉數、被抽氣體的種類有關。分子泵對較輕的氣體抽速較大對氫的抽速比空氣的抽速大20%

渦輪分子泵與其他高真空泵和超高真空泵相比較具有以下優點

1.極限壓力低先進的泵可以獲得109Pa的極限壓力。

2.工作壓力範圍寬9個數量級的壓力範圍內具有穩定的抽速。

3.結構緊湊由置於泵體內的中頻電動機直接驅動渦輪轉子為整體式結構

4.種少油泵它既不像其他機械泵那樣用油作工作液也不用油來密封隻是其轉子仍然用油來潤滑可能有少量潤滑油會進入被抽係統。

5.泵的振動小噪聲低工作平穩,啟動時間短一般在415min內能達到滿抽速。

6.對大分子量的氣體有較高的壓縮比且中頻電動機置於前級空間能獲得清潔的高真空和超高真空另外利用對氦壓縮比低的特點可在逆擴散型的羞羞视频免费下载中做主泵使用。


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